研磨抛光机台及研磨抛光方法

摘要

一种研磨抛光机台及使用此机台的研磨抛光方法，以薄化一玻璃面板。该研磨抛光机台包含：一研磨头、一研磨垫，一回转手臂。玻璃面板贴附于研磨头上，并利用与研磨头相连的回转手臂移动于研磨抛光机台与一卸载平台之间。其中，玻璃面板在卸载平台上进行取卸片的步骤，在研磨抛光机台上进行抛光研磨的步骤。回转手臂包含一升降装置，以向研磨头提供一上提力。本发明解决了清水与残存的研磨液回流至研磨抛光机台影响研磨液浓度，以及因贯穿孔出气量不一致造成卸片失败的问题，其所采用的研磨抛光方法中，利用预压研磨步骤，使玻璃面板不会因真空凹陷致使研磨不均。

主权项

1.一种研磨抛光机台，用以薄化一玻璃面板，其包含：一回转手臂；一研磨头，与该回转手臂相连，且该研磨头包含一玻璃吸着垫与多个贯穿孔；以及一研磨垫，相对于该研磨头设置，通过将该玻璃面板吸附于该玻璃吸着垫上，使该研磨头上的该玻璃面板与该研磨垫进行抛光研磨。