主权项 |
1、附加弹性梁的微拉伸试样结构由三层不同材料固结而成,下层为基底(i),中间为过渡层(ii),上层为被测薄膜层(iii);微拉伸试样结构整体相对拉伸试样(2)的轴线对称;微拉伸试样结构由固定端(1),微桥状的拉伸试样(2),加载端(4)组成,根据基底(i)刻蚀的情况有两种微拉伸试样结构:基底(i)被部分刻蚀的称为体微拉伸试样结构;基底(i)没被刻蚀的称为面微拉伸试样结构;其中:a)、附加弹性梁的微拉伸试样结构是体微拉伸试样结构,其特征是,微拉伸试样结构还具有弹性支撑部分,弹性支撑部分由1个大面积平板(3),4个直线型弹性梁(5)、(6)、(7)、(8),两个支撑框架(9)和(10),两个切除标记梁(11)和(12)组成;大面积平板(3)左侧凹口处与拉伸试样(2)的一端在连接点(A)处相连,大面积平板(3)右端与加载端(4)中部相连;拉伸试样(2)的左端与固定端(1)中部相连;支撑框架(9)左端与固定端(1)相连,右端通过切除标记梁(11)与加载端(4)相连;支撑框架(10)左端与固定端(1)相连,右端通过切除标记梁(12)与加载端(4)相连;直线型弹性梁(5)、(6)的一端与大面积平板(3)的一个侧面相连,另一端与支撑框架(9)连接;直线型弹性梁(7)、(8)的一端与大面积平板(3)的另一个侧面相连,另一端与支撑框架(10)连接;固定端(1)和加载端(4)含有基底(i),过渡层(ii)和待测薄膜层(iii);拉伸试样(2)只有待测薄膜层(iii);切除标记梁(11)、(12),支撑框架(9)、(10),大面积平板(3)和直线型弹性梁(5)、(6)、(7)、(8)由部分厚度的基底(i),过渡层(ii)和待测薄膜层(iii)构成;大面积平板(3)和直线型弹性梁(5)、(6)、(7)、(8)或只由待测薄膜层(iii)构成;体微拉伸试样结构其余部分全部是空的。b)、附加弹性梁的微拉伸试样结构是面微拉伸试样结构,其特征是,微拉伸试样结构也具有弹性支撑部分,弹性支撑部分由1个大面积平板(3),4个直线型弹性梁(5)、(6)、(7)、(8)与4个锚点(13)、(14)、(15)、(16)组成;与大面积平板(3)一侧相连的2个直线型弹性梁(5)、(6)的另一端分别连接锚点(13)、(14);与大面积平板(3)另一侧相连的2个直线型弹性梁(7)、(8)的另一端分别连接锚点(15)、(16);大面积平板(3)左测凹口处与拉伸试样(2)的一端在连接点(A)处相连,大面积平板(3)右端与加载端(4)中部相连;拉伸试样(2)左端与固定端(1)中部相连;被测薄膜层(iii)除了在固定端(1)和锚点(13)、(14)、(15)、(16)通过过渡层(ii)与基底(i)固接外,其它部分悬空。 |