利用结构化的玻璃涂层制作衍射光学元件

摘要

本发明涉及光学元件，尤其涉及一种施加光活性结构化(7)到基片(1)上的方法，以及利用这种类型方法制作的组件。尤其是，施加光活性结构化到基片上的方法包括：光刻技术和借助于物理汽相沉积过程的材料沉积。

主权项

1.一种用于施加光活性结构化到基片上的方法，包括利用光刻掩模的结构化，其步骤是，利用光敏抗蚀层涂敷基片，光刻施加层的结构化，借助于电子束PVD(电子束物理汽相沉积)，利用光活性层涂敷预结构化的基片，该活性层至少包含选自玻璃和金属构成的材料，和去掉抗蚀层。