布线不良检查方法以及布线不良检查装置

摘要

一种检查装置，检测在形成像素部之前的TFT基板中的栅极布线的断线及短路。它是检查TFT基板(1)中的栅极布线(2)的不良的检查装置，该TFT基板(1)具有作为检查对象的多条栅极布线(2)和在与栅极布线(2)之间可分别构成布线间电容的多条COM布线3。它包括：对栅极布线(1)施加电压的脉冲发生部；检测在栅极布线(2)和COM布线(3)之间的布线间电容的电容检测器(50)；以及在COM布线(3)和电容检测器(5)之间连接的电容器。

主权项

1.一种在具有待检查的多个第1布线和与各上述第1布线分别构成电容的多个第二布线的基板中，检查上述第1布线是否不良的方法，包括：(a)对上述第1布线或上述第2布线施加电压；以及(b)在进行上述步骤(a)时，检测在上述第1布线和上述第2布线之间构成的电容。