发明名称 OXIDE SINTERED COMPACT, SPUTTERING TARGET, TRANSPARENT ELECTROCONDUCTIVE FILM, AND METHODS FOR PRODUCING THEM
摘要
申请公布号 KR100737494(B1) 申请公布日期 2007.07.09
申请号 KR20050034356 申请日期 2005.04.26
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;H01L51/50;B23K1/00;C04B35/00;C04B35/01;C04B35/495;C04B37/02;C23C14/08;H01B5/14;H01B13/00;H05B33/10;H05B33/14;H05B33/28 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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