薄膜器件及其制造方法

摘要

薄膜器件具备基板、配置在基板上的由绝缘材料构成的平坦化膜、以及设置在平坦化膜上的电容器。电容器具有下部导体层、配置在下部导体层上的电介质膜、以及配置在电介质膜上的上部导体层。下部导体层具有电极膜、用电镀法在电极膜上形成的第1层、以及用PVD法或CVD法在第1层上形成的第2层。第2层中的金属晶体的粒径小于第1层中的金属晶体的粒径。

主权项

1.一种薄膜器件，其具备下部导体层、配置在上述下部导体层上的电介质膜、以及配置在上述电介质膜上的上部导体层，其特征在于，上述下部导体层具有由金属构成的第1层和配置在上述第1层与上述电介质膜之间的由金属构成的第2层，上述第2层中的金属晶体的粒径小于上述第1层中的金属晶体的粒径。