液晶显示装置用阵列基板及其制造方法

摘要

液晶显示装置用阵列基板及其制造方法。液晶显示装置用阵列基板包括：基板，具有显示区和包围该显示区的驱动电路区；基板上的第一半导体层，位于显示区中，具有有源区和位于该有源区两侧的源区和漏区；第一半导体层上的栅绝缘层；栅绝缘层上的栅电极，对应于有源区，比栅绝缘层宽；栅电极上的层间绝缘层，具有多个半导体接触孔，所述多个半导体接触孔暴露源区和漏区，其中，该层间绝缘层、栅电极、栅绝缘层以及有源区构成多个第一腔部；层间绝缘层上的源电极和漏电极，通过所述多个半导体接触孔接触源区和漏区；源电极和漏电极上的钝化层，具有暴露漏电极的漏极接触孔；以及钝化层上的像素电极，该像素电极通过漏极接触孔接触漏电极。

主权项

1、一种液晶显示装置用阵列基板，包括：基板，具有显示区和包围该显示区的驱动电路区；基板上的第一半导体层，位于显示区中，该第一半导体层具有有源区和位于该有源区两侧的源区和漏区；栅绝缘层，位于第一半导体层上；栅电极，位于栅绝缘层上，并且对应于有源区，该栅电极比栅绝缘层宽；层间绝缘层，位于栅电极上，具有多个半导体接触孔，所述多个半导体接触孔暴露源区和漏区，其中，该层间绝缘层、栅电极、栅绝缘层以及有源区构成多个第一腔部；源电极和漏电极，位于层间绝缘层上，该源电极和漏电极通过所述多个半导体接触孔接触源区和漏区；钝化层，位于源电极和漏电极上，具有一漏极接触孔，该漏极接触孔暴露漏电极；以及像素电极，位于钝化层上，该像素电极通过漏极接触孔接触漏电极。