分离微小固体成分的器件及其制造方法

摘要

一种分离微小固体成分的器件，具备：具有第1面和其反向侧的第2面的基板、和设置在该基板的第1面上的隔膜。基板形成有形成于第2面中、具有底的槽；开口于第1面的空洞；和连结槽的底部与空洞的第1通孔。隔膜在对应于空洞的位置上形成直径比第1通孔小的第2通孔。通过该器件和使用其的方法，可从混合了大小不同的多个固体成分的流体中仅使不会堵塞的小的固体成分通过。

主权项

权利要求书1、一种分离微小固体成分的器件，其特征在于，具备：由硅构成的基板(1)，具有第1面和其反向侧的第2面，形成有形成于所述第2面中、具有底部的槽(2)；开口于所述第1面的空洞(4)；和使所述槽的所述底部与所述空洞连通的第1通孔(3)；和振动的隔膜(5)，设置在所述基板的所述第1面上，在对应于所述空洞的位置上形成直径比所述第1通孔小的第2通孔(9)，其中所述隔膜包含：所述基板的所述第1面上的第1导电体层(6)；所述第1导电体层上的压电体层(7)；和所述压电体层上的第2导电体层(8)。