将位于电容式耦合电浆反应器中的晶圆支撑件冷却于一均匀温度下之方法

摘要

一种将热传出或传入RF耦合式电浆反应器中的工作物件支撑件的方法，包括放置冷却剂至工作物件支撑件中的内部流道、以及利用一冷却回路来循环冷却剂，以将热传出或传入冷却剂，其中工作物件支撑件中的内部流道构成冷却回路的蒸发器。此方法更包括将蒸发器内冷却剂的热条件维持在一定范围，其中工作物件支撑件与冷却剂间的热交换主要是透过冷却剂的蒸发潜热。