使用透明基板制造多晶矽膜的方法及装置

摘要

提供使用透明基板制造多晶矽膜的方法及装置。该方法包含：在该透明基板之一表面上形成一光吸收层；以及，使用快速热处理(RTP)光源的辐射加热该光吸收层，同时沉积该多晶矽膜于该光吸收层上。