晶圆保持体、包含该晶圆保持体之加热器单元及包含该加热器单元之晶圆探针仪

摘要

本发明提供一种即使施加高负载，其变形亦少，藉由具有高隔热效果，提高位置精度或提高均热性，并可晶片急速升温与冷却之晶圆保持体、包含该晶圆保持体之加热器单元及包含该加热器单元之晶圆探针仪。本发明之晶圆保持体之特征在于：包含表面具有夹盘顶导体层之夹盘顶及支持该夹盘顶之支持体，在该夹盘顶与该支持体之间之空隙部具有支持构件者。较好为该支持构件系对该支持体被配置成同心圆状，或被配置于该支持体之大致，更好为包含被配置成同心圆状之支持构件及被配置于之支持构件双方者。