可去除光阻层之组合物

摘要

本发明揭露一种用以去除光阻层之组合物及该组合物的使用方法，其包含极性溶剂和氧化剂。本发明之组合物系使用毒性小、可燃性小之化学物质，且减少了化学成分的用量，使得其与环境更加友善，减少化学废物处理的费用。此外，本发明之组合物的使用方法缩短了清洁工艺时间，将残留物除去得更彻底，最终提高导电性能。