| 摘要 |
本发明之液滴喷出装置包含将液滴喷出至对象物之液滴喷出单元。前述液滴喷出单元系搭载于多关节机器人，而前述多关节机器人系使前述液滴喷出单元在前述对象物之上方往2次元方向移动者。前述液滴喷出单元包含液滴喷出头、液状体槽及自行密封阀。自行密封阀系将从前述液状体槽供应至前述液滴喷出头之液状体的压力控制于特定之压力者。前述自行密封阀包含阀体，其系按照前述液滴喷出头侧之液状体的压力及前述液状体槽侧之液状体的压力间的差压，而可在闭锁位置与开放位置之间移动者。前述阀体系配设为：产生可使前述阀体从前述闭锁位置往前述开放位置移动之力的加速度之方向不同于往前述2次元方向移动时之前述液滴喷出单元的加速度之方向。 |
