曝光方法、曝光装置、及元件制造方法

摘要

曝光装置(EX)具备：第1检测装置(31)，用以检测与既定物体接触后之液体的温度；以及处理装置，系根据第1检测装置(31)的检测结果，侦测液体(LQ)温度与物体温度的关系。