MICROMECHANICAL STRUCTURE COMPRISING A SUBSTRATE AND A THERMOELEMENT, TEMPERATURE AND/OR RADIATION SENSOR, AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHNICAL STRUCTURE

摘要

Es wird eine mikromechanische Struktur, ein Temperatur- und/oder Strahlungssensor und ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur vorgeschlagen, wobei die mikromechanische Struktur (10) ein Substrat (20) und ein einen Referenzkontakt (35) und einen Messkontakt (37) aufweisendes Thermoelement (30) umfasst, wobei das Substrat eine Hauptsubstratebene (21) aufweist, wobei das Thermoelement zwischen dem Referenzkontakt und dem Messkontakt ein erstes Material (3S) und zwischen dem Messkontakt und einem weiteren Referenzkontakt ein zweites Material (38) aufweist, wobei zwischen dem Referenzkontakt und dem Messkontakt in einer Richtung senkrecht zur Hauptsubstratebene entweder das erste Material oberhalb das zweiten Materials angeordnet ist oder das zweite Material oberhalb des ersten Materials angeordnet ist.