发明名称 FREE-STANDING (AL, GA, IN)N AND PARTING METHOD FOR FORMING SAME
摘要
申请公布号 EP1423259(A4) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 EP20020757061 申请日期 2002.08.12
申请人 CREE, INC. 发明人 VAUDO, ROBERT, P.;BRANDES, GEORGE, R.;TISCHLER, MICHAEL, A.;KELLY, MICHAEL, K.
分类号 C23C16/01;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/38;C30B33/00;H01L21/205;H01L33/00;(IPC1-7):B29D22/00;B29D23/00;B32B1/08;B32B3/02;B32B3/00;C30B23/00;C30B25/00;C30B28/12;C30B28/14;C30B29/10 主分类号 C23C16/01
代理机构 代理人
主权项
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