发明名称 |
金属线路及其形成方法、显示器基板及其制造方法 |
摘要 |
在一种金属线路、形成该金属线路的方法、具有该金属线路的显示器基板以及该显示器基板的制造方法中,金属线路包括金属膜和第一无定形碳膜。金属膜利用含铜材料形成在基片上,第一无定形碳膜形成在金属膜下面。形成包括无定形碳膜的金属线路的方法可以大大地简化,并且可以防止或减少在金属线路中产生缺陷。 |
申请公布号 |
CN1987570A |
申请公布日期 |
2007.06.27 |
申请号 |
CN200610064054.X |
申请日期 |
2006.12.19 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
姜镐民;闵勋基;沈承焕;洪性秀;朴鲜;许成权 |
分类号 |
G02F1/133(2006.01);G02F1/1362(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/26(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/00(2006.01);C01B31/00(2006.01) |
主分类号 |
G02F1/133(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种金属线路包括:形成在基片上的金属膜,该金属膜具有含铜材料;和形成在所述金属膜下面的第一无定形碳膜。 |
地址 |
韩国京畿道 |