发明名称 金属线路及其形成方法、显示器基板及其制造方法
摘要 在一种金属线路、形成该金属线路的方法、具有该金属线路的显示器基板以及该显示器基板的制造方法中,金属线路包括金属膜和第一无定形碳膜。金属膜利用含铜材料形成在基片上,第一无定形碳膜形成在金属膜下面。形成包括无定形碳膜的金属线路的方法可以大大地简化,并且可以防止或减少在金属线路中产生缺陷。
申请公布号 CN1987570A 申请公布日期 2007.06.27
申请号 CN200610064054.X 申请日期 2006.12.19
申请人 三星电子株式会社 发明人 姜镐民;闵勋基;沈承焕;洪性秀;朴鲜;许成权
分类号 G02F1/133(2006.01);G02F1/1362(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/26(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/00(2006.01);C01B31/00(2006.01) 主分类号 G02F1/133(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种金属线路包括:形成在基片上的金属膜,该金属膜具有含铜材料;和形成在所述金属膜下面的第一无定形碳膜。
地址 韩国京畿道