| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES EN TANTALE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BE780373(A1) |
申请公布日期 |
1972.07.03 |
| 申请号 |
BE19720780373 |
申请日期 |
1972.03.08 |
| 申请人 |
SIEMENS A.G., A BERLIN ET A MUNICH (ALLEMAGNE), |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/14;H01B1/00;H01L21/70;H01L49/02;(IPC1-7):C23C/ |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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