双轴扫描仪

摘要

本发明提供一种双轴扫描仪，其包括：基底、置于基底上的平台、以及置于基底与平台之间并沿两个轴移动平台的平台致动器。平台致动器包括：第一静止部件；围绕第一静止部件的水平可移动框架，第一水平可形变扭转弹簧置于第一静止部件和水平可移动框架之间；致动水平可移动框架的水平驱动器；围绕水平可移动框架的辅助框架，第一垂直可形变扭转弹簧置于水平可移动框架和辅助框架之间；围绕辅助框架的垂直可移动框架，第二水平可形变扭转弹簧置于辅助框架与垂直可移动框架之间；位于垂直可移动框架沿两侧的第二静止部件，第二垂直可形变扭转弹簧置于垂直可移动框架和第二静止部件之间；以及垂直致动垂直可移动框架的垂直驱动器。平台置于辅助框架上。

主权项

1.一种双轴扫描仪，包括：基底；置于所述基底上的平台；以及置于所述基底与所述平台之间并沿两个轴移动所述平台的平台致动器，其中所述平台致动器包括：具有预定形状的第一静止部件；围绕所述第一静止部件的水平可移动框架，其中第一水平可形变扭转弹簧置于所述第一静止部件和所述水平可移动框架之间；沿水平扫描方向致动所述水平可移动框架的水平驱动器；围绕所述水平可移动框架的辅助框架，其中第一垂直可形变扭转弹簧置于所述水平可移动框架和所述辅助框架之间；围绕所述辅助框架的垂直可移动框架，其中第二水平可形变扭转弹簧置于所述辅助框架与所述垂直可移动框架之间；位于所述垂直可移动框架沿第一方向的两侧上的第二静止部件，其中第二垂直可形变扭转弹簧置于所述垂直可移动框架以及所述第二静止部件之间；以及垂直致动所述垂直可移动框架的垂直驱动器，且其中所述平台置于所述辅助框架上。