被处理体的搬运系统及其搬运方法、以及无人搬运车系统

摘要

形成于一片晶片上的器件数量激增，完成一片晶片检查需要很长的时间，而且，如果以批为单位进行晶片的检查，处理完的晶片要存放在探测器内，直至结束所有的晶片的处理，这样，批单位的晶片传递到下一工序的时间会延误，结果很难缩短TAT(Turn Around Time)，而且探测器很难灵活运行。本发明的搬运系统E具有：主计算机(1)、在该主计算机(1)的管理下的多个探测器(2)、按照各自的要求，把晶片W一片一片地向探测器(2)传递的多个RGV(4)、以及与主计算机协作使用这些RGV(4)的搬运运行装置(5)。搬运运行装置(5)具有调度程序(54A)及分配程序(54B)，它们根据各个探测器(2)和RGV(4)各自的位置关系，生成各个RGV(4)的运行程序，同时确定各自的最佳搬运路线，并把各个RGV(4)分配至各自最佳的搬运路线上。

主权项

1.一种被处理体的搬运系统，其特征在于，该系统具有：管理半导体装置生产的主计算机；在该主计算机的管理下，从被处理体制造半导体装置的多个半导体制造装置；为按照各自的要求向这些半导体制造装置一片一片地传递所述被处理体，沿同一轨道自动搬运被处理体的多个自动搬运装置；以及与所述主计算机协作运行这些自动搬运装置的搬运运行装置，所述搬运运行装置具有控制部，该控制部具有根据所述各个半导体制造装置和所述各个自动搬运装置各自的位置关系，作成所述各个自动搬运装置的运行程序，同时确定各自最佳的搬运路线，并把所述各个自动搬运装置分配到各自最佳的搬运路线上的调度程序及分配程序。