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发明名称 GAS SHOWER HEAD, FILM FORMING DEVICE, AND FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR100729874(B1) 申请公布日期 2007.06.18
申请号 KR20067012397 申请日期 2006.06.21
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;C23C16/44;H01L21/205 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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