具有表面微结构的材料之表面处理方法

摘要

一种具有表面微结构的材料之表面处理方法，系将材料表面经自由基氧化乾式处理后，以超临界流体清洁具有表面微结构的材料表面，移除氧化断键之小分子物质等，其表面微结构可包含奈米孔洞或高深宽比微结构，位于奈米孔洞或高深宽比微结构内的小分子物质或水气被超临界流体所携出，而离开具有表面微结构的材料。