用来移除乾式蚀刻残余物之剥除液组成物及其剥除方法

摘要

一种剥除液组成物及使用该剥除液组成物之剥除方法，以剥除一半导体或平面显示器用之一基板上之一光阻膜。更特别地，本发明系提供一剥除液组成物及使用该剥除液组成物之剥除方法，以剥除在形成一图案后仍残留之光阻膜及在乾式蚀刻后所改造之聚合的蚀刻残余物。