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发明名称
使用表面活化剂及新颖钽错合物之含钽膜之原子层沈积
摘要
本发明提供于表面上形成含钽膜之原子层沈积法。亦提供可在所揭示之沈积法中用作钽前驱体之新颖钽错合物。
申请公布号
TW200722539
申请公布日期
2007.06.16
申请号
TW095129058
申请日期
2006.08.08
申请人
杜邦股份有限公司
发明人
杰弗瑞 史考特 汤普森;凯萨琳E 瑞赛威区
分类号
C23C14/06(2006.01);C23C14/54(2006.01);C01G35/00(2006.01)
主分类号
C23C14/06(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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