光阻组合物及使用彼制造薄膜电晶体基材之方法

摘要

一种光阻组合物，其包括约100重量份之包括酚醛树脂及丙烯酸树脂之树脂混合物，及约10重量份至约50重量份之重氮磺酸酯。该酚醛树脂之重量平均分子量不少于约30,000。该丙烯酸树脂之重量平均分子量不少于约20,000。该丙烯酸树脂构成该树脂混合物之总重量之约1％至约15％。当加热使用该光阻组合物形成之光阻膜时，该光阻组合物之剖面变化相对较小。因此，残余光阻膜具有均一厚度，且可减少TFT基材中之短路及/或开口缺陷。