薄膜缺陷检查方法

摘要

本发明系关于一种薄膜缺陷检查方法，其包括：在待测薄膜表面形成一蓝穆尔薄膜；利用一光源照射该蓝穆尔薄膜，触发薄膜干涉；观察发生薄膜干涉现象之蓝穆尔薄膜；依据薄膜干涉原理分析所产生之薄膜干涉图样，在曲线状干涉条纹对应之待测薄膜处存在缺陷，在无干涉条纹出现之对应待测薄膜处不存在缺陷。