处理系统、处理液供给方法及处理液供给程式

摘要

在经由在调合槽中将从复数之原液供给源所供给之原液作调合，以产生特定浓度之处理液，并将此处理液储存于供给槽内，从此供给槽将处理液供给至处理液吐出口的处理系统中，判断供给槽内之处理液是否有产生浓度变化，若是判断供给槽内之处理液产生了浓度变化，则从调合槽将处理液补充至供给槽，又或是从原液供给源将原液直接补充至供给槽，以维持处理液之浓度。