| 摘要 |
[发明课题]本发明提供一种即使在流量控制装置二次侧流体的压力变动产生时也能以高精度实现流体流量稳定性的流量控制装置及其方法。[解决手段]一种配备在可从流体供应部11对指定的流体使用部15流通流体的供应线L上的流量控制装置10，包括：配置在流体供应部侧的第1压力控制阀部20，及与第1压力控制阀部之间隔着压力损失部40配置在流体使用部侧的第2压力控制阀部60，第1压力控制阀部，具备有可针对一次侧流体的压力变动使配置在第1阀室22内的第1阀部30对第1阀座25形成进退而将二次侧流体维持在指定压力的第1压力控制机构C1，第2压力控制阀部具备有可针对二次侧流体的压力变动使配置在第2阀室62内的第2阀部70对第2阀座65形成进退而将一次侧流体维持在指定压力的第2压力控制机构C2。 |
