溶剂回收系统

摘要

本发明是提供可以从涂布过的涂布液中效率良好地回收溶剂后再利用之系统。藉由搬运线，从上游侧依序配置基板投入部1、涂布装置2以及减压乾燥装置3，从减压乾燥装置3导出排气用的配管31，在该配管31设置真空帮浦32，在该真空帮浦32的下游侧配置液化阱4，从前述液化阱4导出溶剂回收用的配管5，在该配管5设置送液帮浦6，在该送液帮浦6的下游侧配置脱水装置7和过滤器8，液化阱4中液化过的溶剂藉由送液帮浦6输送到缓冲槽9。然后，贮存在该缓冲槽9之溶剂，供作为汽水共腾滚筒22的洗净用。