OPTICAL STRUCTURE COMPRISING AN ELASTIC SUSPENSION SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAID STRUCTURE

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Aufbau bestehend aus einem ersten (1) und einem zweiten (2) Bauteil und einem die beiden Bauteile verbindenden Verbindungselement (3) , das mindestens zwei Federelemente (4,5,6,7) aufweist. Um einen Aufbau, insbesondere einen optischen Aufbau der eingangs genannten Art zur Verfügung zu stellen, bei dem die beiden Bauteile auch bei größeren Temperaturschwankungen eine extrem hohe Positions- und Winkelgenauigkeit zueinander aufweisen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß jedes Federelement eine in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen jeweils mindestens doppelt so groß Federkonstante wie in der dritten, zu den beiden ersten Raumrichtungen senkrechten Raumrichtung, der sogenannten Elastizitätsrichtung, hat, wobei die beiden Federelemente Elastizitätsrichtungen aufweisen, die nicht parallel zueinander verlaufen.