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发明名称 PLASMAREAKTOR
摘要
申请公布号 DE69935994(D1) 申请公布日期 2007.06.14
申请号 DE19996035994 申请日期 1999.09.13
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 OKA, SHINSUKE;NAKASE, RISA;AKAHORI, TAKASHI;KAWAKAMI, SATORU
分类号 H01L21/205;H01L21/302;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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