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发明名称 Method of and apparatus for determining substrate offset using optimization techniques
摘要
申请公布号 EP1102137(B1) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 EP20000310347 申请日期 2000.11.22
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MOORING, BENJAMIN W.
分类号 B25J9/06;G05B19/408;G05B19/401;G05B19/402;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
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