发明名称 FORMING METHOD OF FILM PATTERN, MANUFACTURING METHOD OF SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE, MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD OF CIRCUIT BOARD
摘要
申请公布号 KR100727727(B1) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 KR20060009424 申请日期 2006.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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