| 发明名称 |
Focusing servo device and focusing servo method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1271095(A3) |
申请公布日期 |
2007.06.13 |
| 申请号 |
EP20020012465 |
申请日期 |
2002.06.11 |
| 申请人 |
MITUTOYO CORPORATION |
发明人 |
MASANOBU, KATAOKA;KIICHIRO, NEMOTO |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/30;G11B7/085 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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