发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING EMBEDDED OXIDE REGION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5264884(A) |
申请公布日期 |
1977.05.28 |
申请号 |
JP19760129609 |
申请日期 |
1976.10.29 |
申请人 |
IBM |
发明人 |
DONARUDO PII KAMERON;POORU JIEI TSUAN |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/306;H01L21/32;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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