发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING EMBEDDED OXIDE REGION
摘要
申请公布号 JPS5264884(A) 申请公布日期 1977.05.28
申请号 JP19760129609 申请日期 1976.10.29
申请人 IBM 发明人 DONARUDO PII KAMERON;POORU JIEI TSUAN
分类号 H01L21/76;H01L21/306;H01L21/32;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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