发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1376090(A4) 申请公布日期 2007.06.06
申请号 EP20010917590 申请日期 2001.03.29
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIYAZAKI, A.;KIKUCHI, KATSUHIKO;SUZUKI, M.;TOMOSAKI, R.
分类号 G01L9/00;G01L19/00;(IPC1-7):G01L9/04;G01L19/14 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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