发明名称 频率稳定克服温度漂移的薄膜体声谐振器装置
摘要 薄膜体声谐振器(FBAR)包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电薄膜。提供温度传感器以检测温度,从而为FBAR确定温度导致的频率漂移。操作上连接到温度传感器的电压控制器提供直流(DC)偏压给FBAR,以引入相反的电压导致的频率漂移,从而补偿温度导致的频率漂移。
申请公布号 CN1977449A 申请公布日期 2007.06.06
申请号 CN200580021290.7 申请日期 2005.06.10
申请人 英特尔公司 发明人 V·劳;Q·马;Q·特兰;D·辛;L·-P·王
分类号 H03H9/02(2006.01) 主分类号 H03H9/02(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 曾祥夌;张志醒
主权项 1.一种设备,包括:薄膜体声谐振器(FBAR),包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电薄膜;温度传感器;以及电压源控制器,可操作地连接到所述温度传感器,以在所述FBAR的所述顶部电极和底部电极上施加直流(DC)偏压,从而补偿温度导致的频率漂移。
地址 美国加利福尼亚州