发明名称 | 频率稳定克服温度漂移的薄膜体声谐振器装置 | ||
摘要 | 薄膜体声谐振器(FBAR)包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电薄膜。提供温度传感器以检测温度,从而为FBAR确定温度导致的频率漂移。操作上连接到温度传感器的电压控制器提供直流(DC)偏压给FBAR,以引入相反的电压导致的频率漂移,从而补偿温度导致的频率漂移。 | ||
申请公布号 | CN1977449A | 申请公布日期 | 2007.06.06 |
申请号 | CN200580021290.7 | 申请日期 | 2005.06.10 |
申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | V·劳;Q·马;Q·特兰;D·辛;L·-P·王 |
分类号 | H03H9/02(2006.01) | 主分类号 | H03H9/02(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 曾祥夌;张志醒 |
主权项 | 1.一种设备,包括:薄膜体声谐振器(FBAR),包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电薄膜;温度传感器;以及电压源控制器,可操作地连接到所述温度传感器,以在所述FBAR的所述顶部电极和底部电极上施加直流(DC)偏压,从而补偿温度导致的频率漂移。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |