发明名称 PROBE HEAD HAVING A MEMBRANE SUSPENDED PROBE
摘要
申请公布号 IL180188(D0) 申请公布日期 2007.06.03
申请号 IL20060180188 申请日期 2006.12.19
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人
分类号 G01R 主分类号 G01R
代理机构 代理人
主权项
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