阻气性积层薄膜及其制造方法

摘要

本发明系提供一种积层薄膜，其于制造后马上显示高阻气性，且维持优良之阻气性，并具有构成层间之优越密接强度。本发明系提供于基材薄膜之至少一面所形成之无机薄膜上，具有至少一层之由厚度0.1~10nm之固定涂层(anchor coating layer)与形成于该固定涂层上之无机薄膜所构成之构成单位层的阻气性积层薄膜，及其制造方法。