转印装置及转印方法,剥离装置及剥离方法,张贴装置及张贴方法

摘要

[课题]提供一种适合于达成装置全体小型化的转印装置及转印方法，剥离装置及剥离方法，张贴装置及张贴方法。[解决手段]搬送台8搬送附玻璃板G的晶圆W的动作，和与该动作同步，让吸入滚子2于其轴心周围转动，藉此吸入滚子2会剥离且保持晶圆W，在剥离完成后，搬送台8会朝向与剥离时相反的方向，来搬送环框F。与该动作同步，让吸入滚子2于其轴心周围转动，藉此保持在吸入滚子2的晶圆W，会透过切割胶带T2而张贴在环框F。