有机电致发光元件之制法

摘要

本发明系一种不使用湿式步骤而能够对于密封膜进行图案化之有机EL元件之制法，其系包含：准备形成第1电极2之基板1，而在基板1之第1电极2之上，依序地积层包含发光层之有机层3、及第2电极4，以形成积层膜7之步骤；形成被覆积层膜7整体之第1密封膜5之步骤；在第1密封膜5之表面上，形成具有既定图案之开口部之第2密封膜6之步骤；以及，藉由以具有既定图案之第2密封膜6作为遮罩来进行乾式蚀刻，以图案化该第1密封膜5之步骤。