电子元件测试装置以及电子元件测试装置之温度控制方法

摘要

电子元件测试装置1包括：温度测定装置51，基于设在IC装置D内部的热二极体的电压，测定IC装置D的温度；温度感测器154和温度施加装置153，被设置在押出板150；以及校准手段，从根据有关既定的IC装置D的温度测定装置51的测定温度和根据温度感测器154的测定温度的差，算出补正值；其中在实际运转中，藉由温度测定装置51测定被测试IC装置D的温度，基于得到的测定温度和藉由校准手段算出的补正值，控制温度施加装置153。