晶棒提拉之截面成型方法及相关构造

摘要

本发明系在长晶炉抽拉制造晶棒时，在坩埚上的开口处装设一个热惟幕，此热惟幕设有一个呈接近多边形轮廓的开口，由此开口可控制长晶时的气流、热传导及热辐射，并且在开口形状的控制下，使长晶时的凝固温度的等温线趋近于所需多边形的形状，进而令晶体长成具有较接近预设多边形的截面形状，以减少晶棒在后续制造成为晶片时所需切除的材料。