用以使由羰基金属前驱物之金属层沈积速率增大的方法及沈积系统

摘要

一种使用CO气体及稀释气体以使由羰基金属前驱物之金属层沈积速率增大的方法及沈积系统。该方法包含：提供基板至处理系统之处理室中；形成包含羰基金属前驱物蒸气与CO气体之处理气体；稀释处理室中之处理气体；及将基板暴露于经稀释之处理气体以藉由热化学气相沈积制程将金属层沈积在基板上。该沈积系统包含：基板支座，用以在具有蒸气分配系统之处理室中支撑及加热基板；前驱物输送系统，用以形成包含羰基金属前驱物蒸气及CO气体之处理气体，及用以将处理气体通入至蒸气分配系统；稀释气体源，用以将稀释气体加入至在处理室中之处理气体；及控制器，用以在基板暴露于经稀释之处理气体期间控制沈积系统以藉由热化学气相沈积制程将金属层沈积至基板上。