电浆生成方法及装置,以及电浆处理装置

摘要

本发明的课题是在于提供一种使电感耦合型电浆发生的电浆生成方法及装置，可在不导致电浆密度降低的情况下，压低电浆的电子温度之方法及装置。并且，提供一种利用该电浆生成装置的电浆处理装置。亦即，在电浆生成室1内设置复数根的高频天线2，由天线2来对室1内气体施加自高频电力供给装置(电源41、42、相位控制部Cont等)所供给的高频电力，而使电感耦合型电浆发生之电浆生成方法及装置。复数根的天线2系以各比邻者的彼此之间能够形成相向的并列配置之方式来设置。高频电力供给装置系藉由控制施加于各天线2的高频电压的相位来控制电感耦合电浆的电子温度。