节省电力之快速罩抽空

摘要

本发明之真空抽气装置包含被串联的至少一主要泵(1)以及一辅助泵(2)，且该等主要泵(1)及辅助泵(2)分别被一第一马达(1b)及一第二马达(2b)所驱动，而系由受到一处理器(3a)以及一记忆体(3b)中储存的一程式控制之各别的电源供应单元(1c,2c)供电给该第一马达(1b)及该第二马达(2b)。为了在将抽气速度最大化之同时减少电力消耗，该记忆体(3b)中储存的该程式为该主要泵(1)产生有规律地减少之一速度变化规则(A)，并为该辅助泵(2)产生有规律地增加之一速度变化规则(B)。