形成光致电压接点和连线的方法

摘要

一种制造太阳能电池与形成金属接点的方法及设备。形成太阳能电池接点与连线的方法包括沉积第一金属材料与第二金属材料堆叠之薄膜，以作为用于沉积金属块体材料的初始层或晶种层，并配合矽片处理制程、微影制程、蚀刻制程、清洗制程及退火制程。在一实施例中，用来形成较低接触阻抗之金属矽化物于矽片上的堆叠薄膜的沉积方法为溅镀法或物理气相沉积法。在另一实施例中，用来形成金属线与连线的金属块体材料的沉积方法为溅镀法或物理气相沉积法。在又一实施例中，电镀法或无电电镀法可用来沉积金属块体材料。