垂直式探针卡及气冷式探针头系统

摘要

以与在加热环境中接受使用寿命测试的晶圆大致垂直之方式而垂直安装探针卡，以便限制该探针卡暴露于来自晶圆夹具之热。该探针卡及探针头组合件被安装在支承轨条，该支承轨条具有使冷空气流到该探针头组合件及探针卡之一个或多个通道，同时该支承轨条保护可挠(flex)电缆不受热夹具的影响。冷空气流中断了自该加热夹具向上流到该探针卡及探针头之对流热空气流，且协助冷却该探针卡及探针头。