发明名称 METODO DE INSPECCION MORFOLOGICA BASADO EN LA ESQUELETIZACION.
摘要 Método de inspección morfológica basado en una comparación de una imagen (11) binaria de referencia real y una imagen (21) binaria inspeccionada real de un objeto inspeccionado, comprendiendo dicho método: a) crear una máscara (18) de referencia, comprendiendo dicha máscara (18) de referencia una imagen (16) de un primer color y una imagen (17) de un segundo color en la que: i) dicha imagen (16) de un primer color se obtiene de la esqueletización (29) de dicha imagen (11) de referencia, generando así una imagen (16) de esqueletos que contiene esqueletos de objetos (13) de interés; y ii) dicha imagen (17) de un segundo color se obtiene de la esqueletización (30) de una inversión (12) de dicha imagen de referencia, generando así una imagen (17) de esqueletos de bordes que contiene esqueletos que son los bordes de los objetos (13) de interés; b) pintar dicha imagen inspeccionada de un tercer color y: i) ejecutar (33) una función Y lógica que marca los defectos de una forma de los objetos de interés usando dicha imagen (16) de un primer color y dicha imagen (21) inspeccionada de un tercer color, generando así una primera imagen de defectos; y ii) ejecutar (33) una función Y lógica que marca los defectos de los bordes de los objetos de interés usando dicha imagen (17) de un segundo color y dicha imagen (21) inspeccionada de un tercer color, generando así una segunda imagen de defectos; y c) sumar dicha primera imagen de defectos y dicha segunda imagen de defectos, generando así una imagen (22) de inspección de defectos o mapa de defectos.
申请公布号 ES2275083(T3) 申请公布日期 2007.06.01
申请号 ES20030710191T 申请日期 2003.03.17
申请人 CAMTEK LTD. 发明人 FLIESWASSER, RONI;YANUKA, MOTI;DOLGIN, BORIS
分类号 G01B11/24;G06T5/30;G01N21/956;G06T1/00;G06T5/00;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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