| 发明名称 |
Inductively-coupled RF power source |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2006318772(A1) |
申请公布日期 |
2007.05.31 |
| 申请号 |
AU20060318772 |
申请日期 |
2006.11.16 |
| 申请人 |
THERMO FISHER SCIENTIFIC INC. |
发明人 |
PAUL J. MATTABONI;ROGER FLETCHER;ROBERT MELLOR |
| 分类号 |
H03L7/06;G01N21/73;H03L5/02;H05H1/30;H05H1/46 |
主分类号 |
H03L7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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